EUV明年可望進入量產階段 家登營運看旺到明年

　微影設備大廠艾司摩爾（ASML）第一季營收達22.9億歐元優於預期，受惠於極紫外光（EUV）設備出貨強勁，第二季營收預期將達25～26億歐元。隨著國際半導體廠如台積電、英特爾、三星等均看好EUV將成未來主流，台積電及三星亦將在明年量產支援EUV技術7奈米製程，法人看好家登（3680）的極紫外光光罩盒（EUV Pod）接單滿載，營運看旺到明年。

　根據ASML法說會資料，EUV微影技術愈趨成熟，國際半導體廠已開始進行試產。EUV微影設備的晶圓吞吐量（throughput）持續提升，ASML在一個客戶端的測試中，達到每小時曝光125片晶圓的量產里程碑，同時在ASML的實驗室中展現每小時曝光140片晶圓的實力。

　晶圓代工龍頭台積電在日前法說會中提及，EUV的試產順利且符合預期，機台採購及產能建置進度亦符合預期，採用EUV技術的7+奈米已經開始試投片，預期明年可望進入量產階段。同時，台積電亦認為2020年可望開始量產的5奈米製程將會有更多光罩層數採用EUV技術。

　ASML總裁暨執行長溫彼得（Peter Wennink）表示，在EUV方面，ASML第一季共完成3台EUV系統的出貨，而另1台則正準備出貨。ASML第一季獲得9台NXE:3400B設備訂單，也確認EUV業務持續成長。近來不同客戶都公開討論將於今年底前將採用EUV進行晶片量產，因此，ASML計畫在今年完成20台EUV系統出貨，並在明年將EUV出貨量拉升到30台以上，全力協助客戶達成其量產目標。

　此外，關於下一代High-NA（高數值孔徑）EUV產品，ASML也開始從3個主要客戶方面接到4台訂單，並售出8個High-NA EUV系統的優先購買權（options）。而據了解，台積電此次法說會中宣布將增加3億美元資本支出，用來當成下一代EUV設備預付款，就是已先預購了新一代的EUV機台。

　家登第一季因進入淡季，合併營收達3.45億元，但較去年同期仍成長11.4％。家登EUV Pod最新版本已領先同業率先獲ASML認證。法人預期家登EUV光罩盒逐季放量出貨，將開始明顯挹注營收。

　家登去年合併營收年減16.4％達17.59億元，歸屬母公司稅後淨利約1704萬元，每股淨利0.25元。但家登董事會決議今年每普通股擬發放0.25元現金股利，股息發放率達100％。