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20200228涂志豪/台北報導

台積電冰水系統 年省1.8億度電

 台積電發布最新一期企業社會責任電子報,說明在節能減碳及綠色製造上的重大創新。其中,台積電導入人工智慧(AI)功能冰水系統,節能效率達10~19%,今年1月導入12座12吋晶圓廠,預估每年可省下1.8億度用電。台積電實踐綠色製造,針對製程排放量最高的廢硫酸不斷鑽研再生利用技術,去年已達成工業級硫酸零外購目標。

 台積電將人工智慧導入冰水系統,並運用機器學習(Machine Learning)類神經演算法,建立冰水系統最低能耗預測模型,成功創造業界第一個「人工智慧冰水控制系統」,即時且精準挖掘最佳能源效率參數,節能效率達10~19%。

 台積電在2017年成功開發業界第一個「冰水系統最佳化節能控制程式」,2019年再次領先業界首創人工智慧冰水系統節能手法,截至今年1月,已導入12座12吋晶圓廠,每年減省1.8億度用電量、9.5萬噸排碳量,約當950萬棵樹一年的碳吸收量。

 台積電廠務處綠色製造團隊持續研發再利用方法,經一年持續實驗評估技術可行性、運轉安全及經濟效益,於2014年開發出業界首創的「鹽酸法除雙氧水系統」,成功回收廢硫酸再生為工業級硫酸。截至去年,台積電全數晶圓廠區之廢水處理系統已全面改用再生硫酸,回收再利用量達9.5萬公噸,減廢效益逾新台幣2億元。

 台積電2016年與供應商攜手展開「循環經濟3.0」行動,合作開發高階、高值化回收技術,並於去年成功建置第一套電子級硫酸回收試產線,未來將逐步擴大廢酸回收比例,將委外處理的廢硫酸回收再製純化為原物料,回到廠內自用,讓循環經濟的永續行動生生不息。